中微公司董事長尹志堯：半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化條件逐漸成熟

　　4月17日，科創(chuàng)板企業(yè)中微公司舉行2019年度網(wǎng)上業(yè)績說明會(huì)。公司董事長尹志堯介紹，國內(nèi)集成電路制造產(chǎn)業(yè)大發(fā)展，大量資金不斷投入，集成電路設(shè)備需求迅速提高。設(shè)備國產(chǎn)化條件逐漸成熟，國產(chǎn)化趨勢明顯，這些因素推動(dòng)公司業(yè)績增長。中微公司計(jì)劃不斷開發(fā)新產(chǎn)品，提高市場占有率。公司將在適當(dāng)時(shí)機(jī)通過投資、并購等外延式途徑，擴(kuò)大產(chǎn)品和市場覆蓋，未來十年力爭發(fā)展成為國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司。

　　業(yè)績快速增長

　　2019年中微公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)總收入19.47億元，同比增長18.77%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤1.89億元，同比增長107.51%。

　　“堅(jiān)持以市場和客戶需求為導(dǎo)向，積極應(yīng)對復(fù)雜形勢，在刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備的研發(fā)、市場布局等諸多方面取得了較大突破，產(chǎn)品不斷獲得更多客戶認(rèn)可，為公司持續(xù)健康發(fā)展提供了有力支撐。”尹志堯說。

　　國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求增長等因素推動(dòng)中微公司業(yè)績增長。

　　首先，公司主打產(chǎn)品等離子體刻蝕機(jī)市場迅速增長。尹志堯表示，公司的等離子體刻蝕設(shè)備系列產(chǎn)品不斷完善。公司具有CCP三代的電容性等離子體刻蝕機(jī)，包括雙臺(tái)反應(yīng)器機(jī)型和單臺(tái)反應(yīng)器機(jī)型，開發(fā)了ICP電感性等離子體刻蝕單臺(tái)反應(yīng)器機(jī)型，正在開發(fā)雙臺(tái)機(jī)。設(shè)備產(chǎn)品不斷進(jìn)入市場，刻蝕機(jī)銷售快速成長。

　　其次，隨著照明產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，MOCVD設(shè)備市場需求在2017年-2018年達(dá)到歷史新高。尹志堯介紹，公司開發(fā)的MOCVD設(shè)備逐步成為氮化鎵基藍(lán)光LED器件制造的首選設(shè)備，連續(xù)獲得大批量訂單。

　　半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率提高是公司發(fā)展的重要推動(dòng)力。尹志堯指出，國內(nèi)集成電路制造產(chǎn)業(yè)大發(fā)展，大量資金不斷投入，對集成電路前端設(shè)備的需求量迅速提高。2019年國內(nèi)集成電路前端市場達(dá)到全球的20%左右。

　　“設(shè)備國產(chǎn)化條件逐漸成熟，設(shè)備國產(chǎn)化趨勢日益明顯。”尹志堯表示。

　　覆蓋不同市場

　　“半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)波動(dòng)大，必須未雨綢繆，擴(kuò)展設(shè)備種類，覆蓋不同市場�！币�志堯表示，今后十年中微公司將采取三個(gè)維度的發(fā)展策略。一是從目前的等離子體刻蝕設(shè)備，擴(kuò)展到化學(xué)薄膜設(shè)備以及和刻蝕及薄膜有關(guān)的測試等關(guān)鍵設(shè)備。二是擴(kuò)展在泛半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)品，從用于制造MEMS和CIS影像感測器的刻蝕設(shè)備、制造藍(lán)光LED的MOCVD設(shè)備，擴(kuò)展到更多的微觀器件加工設(shè)備，及制造深紫外LED、Mini-LED、Micro-LED等微觀器件的設(shè)備產(chǎn)品。三是探索核心技術(shù)在環(huán)境保護(hù)、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域及其他新的應(yīng)用。

　　尹志堯表示，公司將在適當(dāng)時(shí)機(jī)，通過投資、并購等外延式生長途徑，擴(kuò)大產(chǎn)品和市場覆蓋，未來十年力爭發(fā)展成為規(guī)模和市場占有率方面達(dá)到國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司。

　　新產(chǎn)品開發(fā)方面，根據(jù)中微公司公告，公司等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國內(nèi)外知名廠商55納米到5納米的眾多芯片生產(chǎn)線上。特別是中微的電容性CCP等離子體刻蝕設(shè)備，已在國際領(lǐng)先的晶圓生產(chǎn)線核準(zhǔn)5納米的若干關(guān)鍵步驟加工。

　　生產(chǎn)經(jīng)營已步入正軌

　　中微公司相關(guān)業(yè)務(wù)受到疫情一定影響�！爸形⒂�400多家材料和零部件供應(yīng)廠商，管理產(chǎn)業(yè)鏈的確是一個(gè)很有挑戰(zhàn)的任務(wù)。疫情期間，公司一直緊密跟蹤供應(yīng)廠商的供貨情況，有問題及時(shí)解決，保證材料按時(shí)供應(yīng)，設(shè)備的按時(shí)運(yùn)出。”尹志堯說，少數(shù)供應(yīng)商的極個(gè)別零部件，由于疫情影響產(chǎn)能調(diào)整，中微公司和這幾家供應(yīng)廠商及時(shí)溝通，要求零部件按時(shí)到位。

　　生產(chǎn)方面，尹志堯介紹，2月下旬生產(chǎn)線已完全恢復(fù)，生產(chǎn)經(jīng)營情況已步入正軌。設(shè)備按計(jì)劃運(yùn)出方面，除武漢地區(qū)客戶有些推遲，其他地區(qū)都按計(jì)劃進(jìn)行。疫情影響有限，公司今年訂單總體健康向好，但下半年情況要視疫情對整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的影響。