晶瑞股份:購(gòu)買(mǎi)光刻機(jī)用于高端光刻膠研發(fā)
9月29日早間,晶瑞股份(300655)公告將購(gòu)買(mǎi)一臺(tái)二手光刻機(jī),總價(jià)款為1102.5萬(wàn)美元(約為人民幣7500萬(wàn)元)。消息發(fā)布后,公司股價(jià)快速漲停,當(dāng)天市值暴增13.39億元。深交所于次日下發(fā)關(guān)注函,要求公司說(shuō)明擬購(gòu)買(mǎi)光刻機(jī)設(shè)備的具體用途、資金來(lái)源,以及擬購(gòu)買(mǎi)光刻機(jī)設(shè)備型號(hào)等問(wèn)題。
10月12日晚間,晶瑞股份在回復(fù)深交所關(guān)注函時(shí)表示,本次擬購(gòu)買(mǎi)的光刻機(jī)可用于研發(fā)最高分辨率為28nm的高端光刻膠,預(yù)計(jì)將于2021年上半年內(nèi)完成運(yùn)輸并安裝完畢。
晶瑞股份在10月12日晚間的回復(fù)函中稱,本次擬購(gòu)買(mǎi)的光刻機(jī)設(shè)備將用于公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目,將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實(shí)現(xiàn)到ArF光刻膠的跨越,并最終實(shí)現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。
本次資金來(lái)源為向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集,以及公司自有及自籌資金。回復(fù)函顯示,晶瑞股份本次擬購(gòu)買(mǎi)光刻機(jī)設(shè)備的型號(hào)為ASML XT 1900Gi,為ArF浸入式光刻機(jī),可用于研發(fā)最高分辨率為28nm的高端光刻膠,預(yù)計(jì)將于2021年上半年內(nèi)完成運(yùn)輸并安裝完畢。
公司表示,作為產(chǎn)業(yè)化的光刻膠生產(chǎn)企業(yè), 光刻膠的產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)、過(guò)程控制是必不可少的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。公司目前KrF已完成中試處于驗(yàn)證階段,擬進(jìn)一步開(kāi)展ArF等高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目,實(shí)現(xiàn)公司發(fā)展戰(zhàn)略。
晶瑞股份同時(shí)提示風(fēng)險(xiǎn)稱,該項(xiàng)目存在因?yàn)橘Q(mào)易爭(zhēng)端或材料禁運(yùn)而導(dǎo)致光刻膠關(guān)鍵材料供應(yīng)不暢以致研發(fā)或生產(chǎn)無(wú)法開(kāi)展的風(fēng)險(xiǎn);公司研發(fā)項(xiàng)目經(jīng)歷時(shí)間較長(zhǎng),且至產(chǎn)業(yè)化并最終實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售產(chǎn)生利潤(rùn)仍需一定時(shí)間,該光刻機(jī)設(shè)備價(jià)格昂貴,其折舊及后續(xù)維護(hù)費(fèi)用預(yù)計(jì)對(duì)公司的經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)存在一定影響。