這項(xiàng)ALD技術(shù) 牽引國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備攻克難關(guān)

　　行業(yè)的蓬勃發(fā)展，離不開裝備技術(shù)的創(chuàng)新與突破。作為國(guó)內(nèi)原子層沉積（ALD）設(shè)備“第一股”，微導(dǎo)納米（688147）通過(guò)自主創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)了核心技術(shù)的重大突破，解決了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)鏈的痛點(diǎn)和堵點(diǎn)。

　　如今，微導(dǎo)納米在半導(dǎo)體、光伏領(lǐng)域齊頭并進(jìn)，并持續(xù)加速各細(xì)分領(lǐng)域的產(chǎn)品研發(fā)和應(yīng)用，在保持ALD產(chǎn)品國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率第一的同時(shí)，不斷推出更多具備競(jìng)爭(zhēng)力的系列產(chǎn)品。尤其值得關(guān)注的是，微導(dǎo)納米不僅在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占據(jù)重要地位，還在國(guó)際市場(chǎng)上展現(xiàn)出了強(qiáng)大的競(jìng)爭(zhēng)力。公司正在積極響應(yīng)國(guó)家“走出去”戰(zhàn)略，以更加開放的姿態(tài)迎接全球市場(chǎng)的挑戰(zhàn)和機(jī)遇。

　　率先用于光伏領(lǐng)域

　　今年6月，德國(guó)慕尼黑國(guó)際太陽(yáng)能光伏展（Intersolar Europe 2024）盛大開幕。在這場(chǎng)迄今為止全球規(guī)模最大、影響最深的太陽(yáng)能專業(yè)展覽交易會(huì)上，微導(dǎo)納米攜TOPCon整線解決方案迎來(lái)歐洲市場(chǎng)“首秀”：除了TOPCon動(dòng)態(tài)沙盤驚艷亮相外，現(xiàn)場(chǎng)同步呈現(xiàn)了半片技術(shù)、XBC、HJT以及鈣鈦礦疊層電池專用設(shè)備等一系列前沿產(chǎn)品，引得眾多業(yè)內(nèi)人士駐足圍觀，進(jìn)一步了解這家中國(guó)企業(yè)的產(chǎn)品及其背后的創(chuàng)新力量。

　　這場(chǎng)展會(huì)上，微導(dǎo)納米還推出全新升級(jí)的“夸父”批量式ALD系統(tǒng)，在維持卓越設(shè)備性能的同時(shí)，整體體積較上一代產(chǎn)品縮減了約30%，產(chǎn)能也提升10%，真正實(shí)現(xiàn)了“小而精”的設(shè)計(jì)理念。需要指出的是，“夸父”背后的ALD技術(shù)之所以能成為光伏市場(chǎng)上的“香餑餑”，就源于微導(dǎo)納米的突破性貢獻(xiàn)。

　　ALD技術(shù)全稱為原子層沉積技術(shù)，在半導(dǎo)體、光伏、新型顯示、柔性電子、新能源等領(lǐng)域具有多種應(yīng)用，是非常關(guān)鍵的核心工藝之一。微導(dǎo)納米董事會(huì)秘書龍文介紹，它通過(guò)交替輸入不同的氣體，使得這些氣體在基底上形成原子級(jí)厚度的薄膜。由于沉積是在原子層級(jí)進(jìn)行的，所以制備出來(lái)的薄膜具有非常好的覆蓋率和均勻性，可以在復(fù)雜的形貌結(jié)構(gòu)上進(jìn)行沉積。

　　作為國(guó)內(nèi)光伏ALD設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)，微導(dǎo)納米的創(chuàng)業(yè)史是一部充滿挑戰(zhàn)的奮斗史。

　　微導(dǎo)納米成立于2015年，由企業(yè)家王燕清與黎微明博士、李翔博士為核心的半導(dǎo)體薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域?qū)＜覉F(tuán)隊(duì)共同創(chuàng)立。其中，黎微明是最早開始研究ALD技術(shù)的華人之一，李翔則擁有十余年的半導(dǎo)體器件制造和工藝研發(fā)經(jīng)驗(yàn)?；趯?duì)ALD等先進(jìn)薄膜沉積技術(shù)在中國(guó)發(fā)展前景的信心，黎微明和李翔放棄了在國(guó)際知名企業(yè)的高管職位，來(lái)到無(wú)錫這片熱土創(chuàng)業(yè)，希望能夠推動(dòng)ALD、CVD等半導(dǎo)體技術(shù)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白領(lǐng)域。

　　創(chuàng)業(yè)之初，微導(dǎo)納米面臨著資金、人才資源的多重挑戰(zhàn)，業(yè)務(wù)發(fā)展也面臨著國(guó)外設(shè)備公司設(shè)下的壁壘。但這些困難并沒有擊垮團(tuán)隊(duì)，反而激發(fā)出他們更加堅(jiān)定的奮斗精神。

　　“公司創(chuàng)立之初，必須先培養(yǎng)現(xiàn)金流業(yè)務(wù)來(lái)保證存活?！蔽?dǎo)納米總經(jīng)理周仁向證券時(shí)報(bào)記者表示，就在微導(dǎo)納米成立后，屬于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的光伏產(chǎn)業(yè)迎來(lái)前所未有的發(fā)展機(jī)遇，也催生了對(duì)先進(jìn)薄膜沉積設(shè)備的巨大需求。王燕清憑借敏銳的市場(chǎng)洞察力，意識(shí)到了半導(dǎo)體ALD技術(shù)在光伏領(lǐng)域的應(yīng)用潛力，他與黎微明、李翔一拍即合，決定利用公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域積累的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，將ALD技術(shù)率先引入光伏產(chǎn)業(yè)中。

　　2016年，黎微明帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)研發(fā)出批量型“夸父”原子層沉積設(shè)備，用于光伏電池片生產(chǎn)過(guò)程中的薄膜沉積環(huán)節(jié)，標(biāo)志著中國(guó)自主創(chuàng)新的光伏核心裝備取得重要突破，該設(shè)備也被評(píng)定為“江蘇省首臺(tái)（套）重大裝備產(chǎn)品”。

　　2022年，N型電池迎來(lái)“量產(chǎn)元年”。微導(dǎo)納米圍繞N型電池生產(chǎn)的十大步驟、五大類設(shè)備，提供全新的TOPCon整線工藝技術(shù)解決方案，打造出業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的下一代高效電池生產(chǎn)線。在團(tuán)隊(duì)的共同努力下，公司在光伏市場(chǎng)上迅速取得了顯著成就，陸續(xù)獲得包括通威太陽(yáng)能、隆基股份、晶澳太陽(yáng)能、阿特斯、隆基股份、愛旭股份、晶科能源、天合光能等多家重要光伏客戶的訂單。依靠技術(shù)創(chuàng)新上的領(lǐng)先地位，微導(dǎo)納米在光伏ALD設(shè)備市場(chǎng)上已經(jīng)連續(xù)多年穩(wěn)居行業(yè)首位。

　　助力半導(dǎo)體領(lǐng)域突破

　　好風(fēng)憑借力，扶搖九萬(wàn)里。在光伏領(lǐng)域取得巨大成功后，微導(dǎo)納米又將目光聚焦到對(duì)技術(shù)和工藝要求更高的半導(dǎo)體集成電路薄膜沉積設(shè)備上。周仁向證券時(shí)報(bào)記者表示，“我們希望通過(guò)ALD技術(shù)，推動(dòng)半導(dǎo)體領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展。”

　　在半導(dǎo)體領(lǐng)域，薄膜沉積設(shè)備與光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備并稱為集成電路前道生產(chǎn)工藝中最關(guān)鍵的三類設(shè)備。隨著半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜，需要堆疊的薄膜層數(shù)越來(lái)越多，光刻、刻蝕等工藝配合ALD技術(shù)，才能制造出數(shù)億級(jí)復(fù)雜的半導(dǎo)體芯片?？梢哉f(shuō)，ALD是半導(dǎo)體制造最核心的基礎(chǔ)工藝之一，對(duì)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體芯片的復(fù)雜功能至關(guān)重要。

　　隨著國(guó)際局勢(shì)的變化，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備迎來(lái)歷史性機(jī)遇。微導(dǎo)納米利用光伏積累的資金和創(chuàng)投資金投入半導(dǎo)體研發(fā)，正式啟動(dòng)半導(dǎo)體項(xiàng)目，迅速成為國(guó)內(nèi)首家將量產(chǎn)型High-k ALD設(shè)備應(yīng)用于28nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造生產(chǎn)線的國(guó)產(chǎn)設(shè)備公司，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)ALD設(shè)備“從0到1”的突破。業(yè)內(nèi)人士介紹，上述設(shè)備技術(shù)有效填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

　　2022年12月23日，微導(dǎo)納米在科創(chuàng)板成功上市，為公司的發(fā)展插上騰飛的翅膀。上市后，公司的綜合實(shí)力進(jìn)一步增強(qiáng)，研發(fā)強(qiáng)度與營(yíng)收增速均高于科創(chuàng)板市場(chǎng)平均水平。以2024年上半年為例，微導(dǎo)納米的研發(fā)投入達(dá)到2.29億元，同比增長(zhǎng)134.05%，占營(yíng)業(yè)收入的比重達(dá)到29.15%，遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平。

　　更加引人關(guān)注的是，公司將研發(fā)投入的60%以上投向半導(dǎo)體領(lǐng)域，并且制定了詳細(xì)的新產(chǎn)品開發(fā)路線圖，積極推進(jìn)新產(chǎn)品的研發(fā)，計(jì)劃在未來(lái)兩年內(nèi)推出一系列創(chuàng)新產(chǎn)品?！拔覀?cè)谶壿嬓酒?、存?chǔ)芯片、化合物半導(dǎo)體、新型顯示等諸多半導(dǎo)體細(xì)分領(lǐng)域?qū)嵤┒嘣季?，已獲得知名客戶重復(fù)批量訂單，成為能與國(guó)際巨頭同臺(tái)競(jìng)技的民族企業(yè)之一?！敝苋氏蛴浾弑硎荆拔覀兤诖@些新產(chǎn)品能夠進(jìn)一步鞏固我們?cè)诎雽?dǎo)體行業(yè)的領(lǐng)先地位?！?/p>

　　在國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中，CVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率僅15%左右，ALD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率更低，基本上不到2%，在一兩年前甚至接近于零。2023年，微導(dǎo)納米進(jìn)一步擴(kuò)展了CVD產(chǎn)品線，憑借在技術(shù)上的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，成功推出高溫?zé)o定形碳工藝專用PECVD設(shè)備并取得批量訂單，滿足了客戶在多個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)和工藝環(huán)節(jié)對(duì)薄膜沉積設(shè)備的需求，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體集成電路關(guān)鍵技術(shù)空白。

　　談及半導(dǎo)體領(lǐng)域布局的發(fā)展前景，周仁直言，雖然整個(gè)國(guó)際形勢(shì)、半導(dǎo)體設(shè)備形勢(shì)相對(duì)而言比較嚴(yán)峻，但是對(duì)于微導(dǎo)納米這一類從事“從0到1”的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)來(lái)說(shuō)，現(xiàn)階段是非常重要的戰(zhàn)略窗口期和上行期，所以景氣度還是非常高的。

　　近年來(lái)，微導(dǎo)納米業(yè)績(jī)持續(xù)高速增長(zhǎng)，成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體公司中跑出的一匹“黑馬”。

　　2024年上半年，微導(dǎo)納米實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入7.87億元，同比增加105.97%，其中半導(dǎo)體設(shè)備收入同比增長(zhǎng)了812.94%，整體占比逐年提升。截至6月30日，微導(dǎo)納米在手訂單80.85億元，其中光伏在手訂單66.67億元，半導(dǎo)體在手訂單13.44億元。與去年同期相比，半導(dǎo)體在手訂單同比增加了123.09%。相關(guān)客戶類型涵蓋了邏輯、存儲(chǔ)、化合物半導(dǎo)體、硅基OLED等領(lǐng)域，其中超過(guò)75%的增量訂單來(lái)自存儲(chǔ)領(lǐng)域，行業(yè)重要客戶需求表現(xiàn)強(qiáng)勁，形成批量的重復(fù)訂單合計(jì)已超過(guò)7.5億元，體現(xiàn)了市場(chǎng)及客戶的高度認(rèn)可。

　　探索新興發(fā)展機(jī)會(huì)

　　再將目光拉回到慕尼黑國(guó)際太陽(yáng)能光伏展，微導(dǎo)納米推出的鈣鈦礦新品無(wú)疑是展會(huì)上的一大亮點(diǎn)。

　　2023年11月，微導(dǎo)納米自主研發(fā)的鈣鈦礦晶硅疊層電池專用設(shè)備順利通過(guò)海外客戶驗(yàn)收，幫助客戶達(dá)成商業(yè)化電池（258.15cm）效率最新世界紀(jì)錄，完成鈣鈦礦電池產(chǎn)業(yè)化工藝路線拼圖，再次實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)高端設(shè)備逆向出口海外，充分展現(xiàn)了公司在全球新型高效電池領(lǐng)域的強(qiáng)大競(jìng)爭(zhēng)力。

　　“我們?cè)诠夥锏牟呗跃褪亲プ‘?dāng)下機(jī)遇，同時(shí)又儲(chǔ)備未來(lái)的技術(shù)，來(lái)應(yīng)對(duì)整個(gè)光伏未來(lái)技術(shù)轉(zhuǎn)換的發(fā)展?！敝苋时硎荆?dǎo)納米正圍繞BC電池、HJT電池、鈣鈦礦電池等多種新型高效電池領(lǐng)域，持續(xù)完善技術(shù)儲(chǔ)備和產(chǎn)品，為全球光伏產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展注入了新的動(dòng)力。

　　如今，微導(dǎo)納米將ALD技術(shù)作為核心競(jìng)爭(zhēng)力，并構(gòu)建了以ALD技術(shù)平臺(tái)為基礎(chǔ)，通過(guò)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用服務(wù)不同行業(yè)，形成以技術(shù)為核、多產(chǎn)業(yè)為翼的商業(yè)模式。這種模式的優(yōu)勢(shì)在于，目標(biāo)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模大，如光伏、半導(dǎo)體等每個(gè)行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模均達(dá)百億級(jí)，可為公司帶來(lái)穩(wěn)定的收入增長(zhǎng)?！斑@樣可以幫助公司逐步突破單一行業(yè)的發(fā)展瓶頸，解決后期發(fā)展可能面臨的天花板問題。不同事業(yè)組合，可以降低單一周期性行業(yè)的波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)?！蔽?dǎo)納米董秘龍文表示，如果公司僅聚焦一個(gè)周期性行業(yè)，該行業(yè)在周期下行時(shí)，公司整體訂單和收入也會(huì)下滑，“而多產(chǎn)業(yè)組合可減弱單行業(yè)風(fēng)險(xiǎn)”。

　　隨著人工智能、自動(dòng)駕駛、虛擬現(xiàn)實(shí)、柔性電子等新興產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展，微導(dǎo)納米不斷探索在新興產(chǎn)業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行薄膜工藝相關(guān)專用設(shè)備和技術(shù)的研發(fā)，并逐步開展產(chǎn)品應(yīng)用驗(yàn)證，持續(xù)推動(dòng)新興產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步，助力客戶在相關(guān)領(lǐng)域保持行業(yè)領(lǐng)先地位。

　　據(jù)了解，微導(dǎo)納米還將繼續(xù)探索尖端薄膜沉積技術(shù)在各新興應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展機(jī)會(huì)，如柔性鍍膜、芯片封裝、光學(xué)超低減反膜沉積、新能源等細(xì)分應(yīng)用領(lǐng)域的薄膜沉積技術(shù)，“雖然目前這些領(lǐng)域的現(xiàn)有訂單量不大，但公司看好這些領(lǐng)域的市場(chǎng)潛力和技術(shù)應(yīng)用前景?！蔽?dǎo)納米董秘龍文表示。

　　就在今年1月，微導(dǎo)納米創(chuàng)新研發(fā)的ALD量產(chǎn)設(shè)備順利發(fā)往歐洲某頭部芯片制造客戶，專用于其新型車載芯片的生產(chǎn)制造，再次實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)高端設(shè)備逆向出口海外，標(biāo)志著微導(dǎo)納米推動(dòng)ALD技術(shù)在新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用又取得新的突破，為公司全球化及多元化發(fā)展布局增添新的動(dòng)力。

　　今年4月15日，微導(dǎo)納米自主研發(fā)的專用于光學(xué)行業(yè)的ALD量產(chǎn)設(shè)備成功發(fā)往客戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證，標(biāo)志著微導(dǎo)納米在光學(xué)領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)取得新突破。該設(shè)備專為消費(fèi)電子光學(xué)攝像頭、AR/VR光學(xué)透鏡、精密光學(xué)元器件等產(chǎn)品的薄膜沉積加工工藝而設(shè)計(jì)，助力攝像鏡頭等精密光學(xué)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了迭代升級(jí)，也彰顯了微導(dǎo)納米以ALD技術(shù)為核心，持續(xù)挖掘技術(shù)創(chuàng)新潛力、探索新興行業(yè)應(yīng)用的強(qiáng)大實(shí)力。